產(chǎn)品介紹:
優(yōu)異的高效分析性能
微型采樣方法(已在日本和美國(guó)取得)已在半導(dǎo)體器件分析領(lǐng)域成為一款工具,它正迅速向更小制樣方向發(fā)展。僅用一小時(shí)左右即可獲得一個(gè)微小樣品,以便于STEM分析,其定位精度可達(dá)到0.1 μm以下。
產(chǎn)品特點(diǎn):
聚焦離子束(FIB)微采樣裝置和聚焦離子束(FIB)微采樣方法
聚焦離子束(FIB)微柱狀制樣實(shí)例
一個(gè)微柱狀樣品,包含一個(gè)直接從半導(dǎo)體器件上準(zhǔn)確地切割下來(lái)的分析點(diǎn)。改變?nèi)肷渚劢闺x子束(FIB)的方向,把微樣品切割或加工成任意形狀。