GFM2 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)結(jié)合一個(gè)直線管狀傳感器和一個(gè)限制流體分子的控制器來(lái)提供高精度和重復(fù)性。流量比率是虛擬化的不受溫度和壓力變化的影響。實(shí)際流量將以工程單位顯示在3位數(shù)字,90°旋轉(zhuǎn)的液晶顯示屏上。本系列可以與GFT系列流量累計(jì)器一起以用于需要測(cè)定流量累計(jì)的場(chǎng)合。GFM系列產(chǎn)品包括一份NIST跟蹤記錄證書。
型號(hào)
流量范圍 | 流量計(jì) | |
鋁 | 不銹鋼 | |
0-10 SCCM | GFM-1101 | GFM-2101 |
0-20 SCCM | GFM-1102 | GFM-2102 |
0-50 SCCM | GFM-1103 | GFM-2103 |
0-100 SCCM | GFM-1104 | GFM-2104 |
0-200 SCCM | GFM-1105 | GFM-2105 |
0-500 SCCM | GFM-1106 | GFM-2106 |
0-1 L/min | GFM-1107 | GFM-2107 |
0-2 L/min | GFM-1108 | GFM-2108 |
0-5 L/min | GFM-1109 | GFM-2109 |
0-15 L/min | GFM-1111 | GFM-2111 |
0-30 L/min | GFM-1131 | GFM-2131 |
0-50 L/min | GFM-1133 | GFM-2133 |
0-100 L/min | GFM-1142 | GFM-2142 |
0-200 L/min | GFM-1143 | GFM-2143 |
0-500 L/min | GFM-1144 | GFM-2144 |
0-1000 L/min | GFM-1145 | GFM-2145 |
流量量程是相當(dāng)于氮?dú)庠?0°F(21°C) @ 760 毫米汞柱的條件下標(biāo)定的
規(guī)格
介質(zhì):與接液部件兼容的清潔氣體
接液材質(zhì): GFM-1XXX: 陽(yáng)極氧化鋁, 銅, 316不銹鋼 和Viton® O型密封圈;
GFM-2XXX: 316不銹鋼 和Viton® O型密封圈
精度: 滿量程時(shí)±1.5%包括線性以上59-77°F(5-25°C) 和5-60psia (0.35-4bar)
重復(fù)性: 滿量程的±0.5%
反應(yīng)時(shí)間: 實(shí)際流量的±2%以內(nèi)是2秒
輸出: 線性0-5VDC和4-20mA
微粒尺寸: 5微米
工作溫度: 32-122°F(0-50°C)
電源: ±12-36VDC
過(guò)程連接: 流速≤50L/m壓縮接頭是1/4 英寸;100和200L/m是3/8英寸;500L/m是1/2英寸;1000L/m是3/4英寸
壓力范圍: 500psig(34.5bar)
泄漏率: 氦氣的1 x 10-7 sccs
顯示器: 90°可傾斜,3-1/2數(shù)字
認(rèn)證: CE
附件
GFC系列氣體質(zhì)量流量計(jì)
型號(hào)GFC-110P,110V電源
型號(hào)GFC-220PE,220V電源
型號(hào)GFM-CBL4,3英尺長(zhǎng)電纜用于4-20mA輸出
型號(hào)GFM-CBL5,3英尺用于0-5VDC輸出的延長(zhǎng)電纜
型號(hào)IO-1,0-5VDC的RS232輸入到輸出信號(hào)調(diào)節(jié)裝置