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2100℃ CVD系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱南京博蘊通儀器科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地南京市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/11/18 22:39:38
  • 訪問次數(shù)96
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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南京博蘊通儀器科技有限公司是在規(guī)定高校校辦企業(yè)與高校脫鉤的形勢下、在南京大學(xué)校辦工廠產(chǎn)權(quán)改制的情況下、由南京大學(xué)校辦工廠核心成員組建的一家專業(yè)從事電爐、球磨機研究和開發(fā)的生產(chǎn)型企業(yè)。 公司聘請了多名南京大學(xué)、東南大學(xué)、南京郵電大學(xué)、南京理工大學(xué)、河海大學(xué)等教授為指導(dǎo),吸收了國外眾多品牌的優(yōu)點并結(jié)合自身多年產(chǎn)品設(shè)計開發(fā)經(jīng)驗,先后研制出了多款外觀優(yōu)美、結(jié)構(gòu)緊湊、功能強大的材料研發(fā)設(shè)備。其中真空熔煉爐、真空電弧爐、真空鎢絲爐、真空鉬絲爐、大型轉(zhuǎn)動管式爐、真空懸浮熔煉爐等設(shè)備已經(jīng)達到了水平。公司產(chǎn)生的雙溫區(qū)雙翻蓋管式爐于2015年在南京航空航天大學(xué)生長出了世界上【硼烯】。其中的多款設(shè)備被耶魯、哈弗、斯坦福、新南威爾士等世界學(xué)府選用,在國內(nèi)被 中科大微尺度國家實驗室、南京大學(xué)微結(jié)構(gòu)國家實驗室、華中科技大學(xué)光電國家實驗室、華中科技大學(xué)煤燃燒國家重點實驗室、浙江大學(xué)硅材料國家重點實驗、中航工業(yè)北京材料研究院、中國航天集團空氣動力研究院、中科院物理所、中科院化學(xué)所、上海硅酸鹽研究所等學(xué)府及研究單位選用。 公司本著“、客戶“的宗旨,刻苦奮斗努力拼搏的精神,在生產(chǎn)過程中嚴(yán)格執(zhí)行國內(nèi)外行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。使我們的產(chǎn)品遠(yuǎn)銷歐美、加拿大、澳大利亞、印度、韓國、等世界各地,每年出口設(shè)備在500臺以上。公司總生產(chǎn)和銷售的設(shè)備超過1000臺。公司產(chǎn)品先后通過了ISO9000 、UL、CSA、CE等認(rèn)證。全建立了一套完整的質(zhì)量管理體系,產(chǎn)品質(zhì)量具有可靠保證,物美價廉,是高校、科研院所、研發(fā)企業(yè)的產(chǎn)品。 公司堅持以客戶需求為導(dǎo)向,博采眾長、結(jié)合自身優(yōu)勢、蘊育通達,為客戶提供的產(chǎn)品。 熱忱歡迎新老客戶對我們的工作提出寶貴意見。 愿竭誠與廣大用戶、科研院所、業(yè)界同仁合作,共同發(fā)展。 我們只專注于電爐和球磨機。因為專注、所以專業(yè)。
真空爐
VCF真空碳管爐型號VCF-48-21特點該設(shè)備可用于做碳沉積之類的CVD實驗,其具有以下優(yōu)點1、溫度高,可達到2100℃2、安全,不會像管式爐出現(xiàn)斷管子的風(fēng)險3、腔體大,比管式爐處理的樣品體積大4、加裝防爆閥,可及時將腔體內(nèi)多余氣體排出
2100℃ CVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

 

VCF

型號 VCF-48-21
特 點

該設(shè)備可用于做碳沉積之類的CVD實驗,其具有以下優(yōu)點

1、溫度高,可達到2100℃

2、安全,不會像管式爐出現(xiàn)斷管子的風(fēng)險

3、腔體大,比管式爐處理的樣品體積大

4、加裝防爆閥,可及時將腔體內(nèi)多余氣體排出。

5、采用電容薄膜規(guī)測量真空度,測量結(jié)果更精準(zhǔn)。

若用戶需要潔凈的環(huán)境,可選購我公司鎢絲爐或鉬絲爐,具體可咨詢我公司銷售

技術(shù)方案

1、一個石墨桶放在加熱區(qū)內(nèi),石墨桶內(nèi)有兩個(也可定制其它數(shù)量)放物料的支架

2、氣體由下方進氣口進入石墨桶內(nèi),經(jīng)過物料架,在襯底材料表面經(jīng)過化學(xué)反應(yīng)形成固體沉積物,多余的氣體經(jīng)上方排氣口排出。

功率 48KW
電源 三相 380V  50/60Hz
加熱溫度 2100℃
控溫模式 歐陸  3204   智能PID  5×16段程序控溫
加熱碳管尺寸(mm) Dia200(內(nèi)徑)×320
有效加熱尺寸(mm)  Dia160×160
腔體真空度(擴散泵機組) < 5×10 -3Pa
腔體充氣壓力 < 0.05MPa
升壓率 <4Pa/小時
斷偶保護和顯示
過溫保護
過流保護
欠壓保護(水壓)
控制精度 +/-  1℃
溫度檢測方式 鎢套管鎢錸熱電偶
升溫速率 < 20度/min
真空腔體內(nèi)是否水冷
觀察窗尺寸 Dia 90mm
外形尺寸 1.85*1.6*2米
防爆系統(tǒng)

防爆系統(tǒng)由壓力變送器和防爆閥組成

壓力傳感器,可在壓力控制表上設(shè)置報警壓力,當(dāng)爐管內(nèi)壓力大于等于設(shè)定的報警壓力時,防爆系統(tǒng)會自動啟動,并放出爐管內(nèi)多余的氣體。

防爆電磁閥由兩個方向相反的單向閥組成,無論是真空還是氣氛下都可以關(guān)的很好,不漏氣,不回流。

                            

      壓力變送器                       防爆閥

  冷水機(選配) 8P

 

 

機組輸入電壓 380V /220V
波紋管 KF40×1000
真空擋板閥 KF40

 前級真空泵

VRD-60

功率 2.5KW
電壓 380V
轉(zhuǎn)速 1450rpm
進氣口徑  KF25/KF40
前機泵抽氣速率(L/S) 15
極限壓強 4×10 -2Pa
擴散泵TK200 電壓 220V
功率 2000W
進氣接口 DN200
出氣接口 DN40
注入油量 0.4L
抽氣速率(N2) 2000L/S

復(fù)合真空計

復(fù)合真空計型號 ZDF
 電源  220V   55W
控制精度 ± 1%
真空計測量范圍 10-5 -10 Pa
      

GX

統(tǒng)

數(shù)

 

質(zhì)量流量計

量程和氣體 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型)
耐壓 3MP
流量控制精度 ±1.0%F.S
工作(使用)壓力 0.3MPa
線性 ±0.5%F.S.
重復(fù)精度 ±0.2% F.S
 路數(shù) 1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意選擇幾路)  
接頭類型 雙卡套不銹鋼接頭
系統(tǒng)工作壓力范圍 0.1~0.5 MPa
工作溫度  5-45℃
壓力真空表表 -0.1~0.15MPa    0.01MPa/格
靜態(tài)混氣室  Dia50 X 400MM
接口  Dia6  / 1/4”

      冷水機

 

      

電源

3PH-380V/50HZ

制冷量

18.3*10³kcal/h

輸入總功率

12KW

揚程

50M

流量

12m3/h

水箱容量

130L

外形尺寸

730×1335×1415

 凈重 285KG 

一:設(shè)備特點

本電爐為周期作業(yè)式,廣泛應(yīng)用于功能陶瓷,光學(xué)材料,碳復(fù)合材料,硬質(zhì)合金,粉末冶金等在高溫真空條件下進行燒結(jié)處理,也可在充氣保護情況下成型燒結(jié)。

 

二、結(jié)構(gòu)組成

1.爐體        2.爐蓋      3.爐底            4.爐架       5.真空系統(tǒng)    

6.溫控系統(tǒng)     7.氣路系統(tǒng)    8.變壓器及聯(lián)接電纜    9.水冷系統(tǒng)    10.發(fā)熱元件及隔熱屏

 

三、結(jié)構(gòu)說明

1、爐體:采用雙層水夾層結(jié)構(gòu),內(nèi)層為不銹鋼(1Cr18N9Ti)拋光,外層為優(yōu)質(zhì)碳鋼,上、下法蘭組焊成筒型結(jié)構(gòu),法蘭平面開設(shè)密封槽。采用“O”圈真空密封,并設(shè)水冷裝置(防止因溫度過高“O”圈老化)。開設(shè)有抽氣、熱電偶、紅外孔等。

2、爐蓋:采用雙層夾層封頭結(jié)構(gòu),設(shè)有觀察孔,屏蔽、鎖緊、開啟裝置,并通水冷卻。

3、爐底:同樣采用雙層水夾層封頭結(jié)構(gòu),設(shè)有電極引出裝置,支撐平臺等,并設(shè)有水冷裝置。

4、爐架:由型鋼及鋼板組焊成箱式結(jié)構(gòu),爐體安放在箱體上,美觀大方。

5、真空系統(tǒng):由壹臺TK-200擴散泵配冷阱,壹臺VRD-60機械泵、手動高真空擋板閥、真空壓力表(±Pa)、充氣閥、放氣閥和真空管路等組成。機械泵采用金屬波紋軟管快速接頭聯(lián)接(減緩震動),真空度的測量采用數(shù)顯復(fù)合真空計。

6、溫控系統(tǒng):采用可控制硅控溫,儀表為歐陸溫控表,具有P.I.D調(diào)節(jié)、超溫聲光報警功能,電器元件采用正泰品牌,電控屏箱按西門子標(biāo)準(zhǔn)制作,控溫精度高,操作方便。

7、氣路系統(tǒng):在整個系統(tǒng)中設(shè)有1個進氣口、1個放氣口,可充氣氛。

8、電氣控制:采用可控硅控溫,配有大電流變壓器、調(diào)壓器及溫度控制儀表組成溫度控制執(zhí)行回路。電路設(shè)有斷水、過流、超溫報警及保護功能。

9、水冷系統(tǒng):由各種管道閥等相關(guān)裝置組成,具有斷水聲光報警自動切斷電源功能。

10、變壓器及聯(lián)接電纜:采用與之相匹配的變壓器及聯(lián)接電纜。

11、發(fā)熱元件及隔熱屏:發(fā)熱元件采用電極石墨加工成圓筒形的結(jié)構(gòu),隔熱屏采用石墨、碳?xì)?、石墨氈?/span>1層石墨筒,4層碳毪和4層石墨氈,每層厚10mm以上),保溫性能好、加熱均勻、輻射面大、耐熱沖擊性好,可快速加熱和冷卻。保溫層和發(fā)熱分體,易維護和取裝,保溫套外用不銹鋼框架支撐,固定。

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