VCF 真 空 碳 管 爐 | 型號 | VCF-25-21-D | |
功率 | 25KW | ||
電源 | 三相 380V 50/60Hz | ||
加熱溫度 | 2100℃ | ||
優(yōu) 點(diǎn) | 1、外形緊湊,占地面積小 2、溫度高,溫度可到2100℃ 3、可生長出高純度的單晶 4、真空度高,標(biāo)配擴(kuò)散泵,真空度5×10-3Pa,可選配分子泵,真空度5×10-4Pa 5、操作簡單,設(shè)備帶有一塊10寸觸摸屏,可在觸摸屏中設(shè)置工藝,簡單便捷 | ||
加熱碳管尺寸(mm) | Dia130(內(nèi)徑)X220 | ||
有效加熱尺寸(mm) | Dia90×120 | ||
腔體真空度(擴(kuò)散泵機(jī)組) | < 5×10 -3Pa | ||
腔體充氣壓力 | < 0.05MPa | ||
升壓率 | <4Pa/小時(shí) | ||
原理 |
物料在加熱區(qū)熔化后,升降機(jī)構(gòu)帶動坩堝勻速下降,坩堝通過一個(gè)均勻下降的溫度梯度場,熔融的物料晶格按照一定的順序重新排列結(jié)晶,形成有序的晶格常數(shù)。 | ||
升降平臺 | 1、物料可以通過自動升降平臺到加熱區(qū) 2、升降平臺行程200mm,可以調(diào)節(jié) 3、升降平臺升降速度 0.1um-2000μm/s 4、升降平臺可自動,手動升降,也可多段速升降 5、升降平臺上下都做了限位,限度的保護(hù)設(shè)備 | ||
軟件 | 可在軟件中啟動機(jī)械泵,以及各種真空閥 可在軟件中設(shè)置溫度和定向凝固工藝 可在軟件中設(shè)置循環(huán)水報(bào)警溫度 支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄、保存、數(shù)據(jù)導(dǎo)出等 | ||
斷偶保護(hù)和顯示 | 有 | ||
過溫保護(hù) | 有 | ||
過流保護(hù) | 有 | ||
欠壓保護(hù)(水壓) | 有 | ||
控制精度 | +/- 1℃ | ||
溫度檢測方式 | 鎢套管鎢錸熱電偶 | ||
升溫速率 | < 20度/Min | ||
真空腔體內(nèi)是否水冷 | 是 | ||
觀察窗尺寸 | Dia 90mm | ||
冷水機(jī)(選配) | 6P | ||
真空機(jī)組
| 機(jī)組輸入電壓 | 380V /220V | |
波紋管 | KF40×1000 | ||
真空擋板閥 | KF40 | ||
前級真空泵BSV-60 | 功率 | 2.2KW | |
電壓 | 380V | ||
轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | ||
進(jìn)氣口徑 | KF25/KF40 | ||
前機(jī)泵抽氣速率(L/S) | 16 | ||
極限壓強(qiáng) | 5X10 -1Pa | ||
擴(kuò)散泵TK200 | 電壓 | 220V | |
功率 | 2000W | ||
進(jìn)氣接口 | DN200 | ||
出氣接口 | DN40 | ||
注入油量 | 0.4L | ||
抽氣速率(N2) | 2000L/S | ||
分子泵(選配)
| 型號 | FF200/1200 | |
抽氣速率 | 1200L/S | ||
極限壓強(qiáng) | 6×10-6Pa | ||
額定轉(zhuǎn)速 | 24000rpm | ||
進(jìn)氣口法蘭 | DN200 | ||
冷卻水溫度 | <25℃ | ||
復(fù)合真空計(jì) | 復(fù)合真空計(jì)型號 | ZDF | |
電源 | 220V 55W | ||
控制精度 | ± 1% | ||
真空計(jì)測量范圍 | 10-5 -10 5 Pa | ||
冷水機(jī)
| 電源 | 3PH-380V/50HZ | |
制冷量 | 12.3*10³kcal/h | ||
輸入總功率 | 6.5KW | ||
揚(yáng)程 | 30M | ||
水箱容量 | 110L | ||
外形尺寸 | 650×1400×1200 | ||
凈重 | 180KG |
1、結(jié)構(gòu)組成
爐體、爐蓋、爐底、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、發(fā)熱體及隔熱屏等。
2、結(jié)構(gòu)說明
1)爐體:為立式爐殼,其內(nèi)、外層均為304不銹鋼做成的圓筒,外層鏡面拋光處理。內(nèi)外筒與前后法蘭焊成一個(gè)整體,爐體開有電極孔、抽氣孔、放氣孔、熱電偶孔、紅外孔及觀察孔(爐體正面配觀察孔可以對坩堝狀態(tài)進(jìn)行觀察)等,各接口的材質(zhì)均為不銹鋼。
2)爐蓋:由內(nèi)外封頭和法蘭焊成,中間可通水冷卻,爐蓋開啟裝置。
3)爐底:由內(nèi)外封頭和法蘭組成,中間通水冷卻,下部設(shè)有充放氣孔,固定在爐體下部,設(shè)有電極引出裝置。
3、真空系統(tǒng):
(1)主要由直聯(lián)泵、分子泵,氣動擋板閥、電磁截止閥、數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)、真空管路、放氣閥、支架等組成;真空管道與泵之間采用金屬波紋軟管快速接頭聯(lián)接(減緩震動)。
(2)真空主抽泵直聯(lián)泵(北儀優(yōu)成)、分子泵(北京科儀)。
(3)氣動擋板閥(川北科技)GDQ-200 1臺 GDQ-J40 2臺
(4)成都睿寶數(shù)顯真空計(jì)ZDF-5227V01 1臺。
(5)真空管路1套,由波紋管、三通管、真空泵、兩個(gè)40真空擋板閥、接口彎管等組成(波紋管內(nèi)Φ40,三通管為40標(biāo)準(zhǔn)尺寸)。
4、電控系統(tǒng):
所有控制系統(tǒng)集成在控制柜內(nèi)操作。通過PID智能控溫儀表+功率控制器可以實(shí)現(xiàn)智能調(diào)節(jié)、可靠性高,全數(shù)字電路等,電氣系統(tǒng)設(shè)有過流、過壓返饋及保護(hù)電路,電控屏箱按西門子標(biāo)準(zhǔn)制作,控溫精度高,操作方便。
5、水冷系統(tǒng):爐體、上下端蓋采用夾層水冷的結(jié)構(gòu)形式,在進(jìn)出水主管路上安裝水壓繼電器及壓力表,同時(shí)與控制柜連接,異常狀態(tài)時(shí)報(bào)警。能夠定性的觀察各分水路的水流大小。整個(gè)水冷系統(tǒng)確保各分路回水溫度不高于40℃(進(jìn)水溫度20℃)。水冷系統(tǒng)主進(jìn)直徑40mm、回水管直徑50mm(進(jìn)水壓力0.4MPa)。