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隨著計(jì)算機(jī)、微電子和信息技術(shù)的發(fā)展,推動了電子制造業(yè)的飛速發(fā)展,也帶動了潔凈室技術(shù)的發(fā)展,同時(shí)對潔凈室的設(shè)計(jì)提出了更高的要求,電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)是一項(xiàng)綜合的技術(shù),只有充分了解電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)特點(diǎn),做到設(shè)計(jì)合理,才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低,提高生產(chǎn)效率。
潔凈度等級要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴(yán)格。其中對濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來說,電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。 這時(shí)可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時(shí)還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
●電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)
●電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。
●電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa
● 電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的***大值:
● 補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
● 保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
●保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風(fēng)量:
●根據(jù)熱,濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量:
●向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量:
①凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)道內(nèi)壁不干凈、連接不嚴(yán)密、漏風(fēng)率過大;
②彩鋼板圍護(hù)結(jié)構(gòu)不嚴(yán)密,潔凈室與技術(shù)夾層(吊頂)的密封措施不當(dāng)、密閉門不密閉;
③裝飾型材及工藝管線在潔凈室形成了死角、積塵;
④個(gè)別位置未按照設(shè)計(jì)要求施工,無法滿足相關(guān)要求規(guī)定;
⑤所用密封膠質(zhì)量不過關(guān)、易脫落、變質(zhì);
⑥回、排風(fēng)彩鋼板夾道相通,粉塵從排風(fēng)到進(jìn)入回風(fēng)道;
⑦工藝純化水、注射水等不銹鋼衛(wèi)生管道焊接時(shí)內(nèi)壁焊縫未成型;
⑧風(fēng)道止回閥動作失靈,空氣倒灌造成污染;
⑨排水系統(tǒng)安裝質(zhì)量不過關(guān)、管架、附件易積塵;
⑩潔凈室壓差整定不合格,未能滿足生產(chǎn)工藝要求。