| 12t/h半導(dǎo)體用超純水設(shè)備主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中各種沖洗用水，對水的純度要求比較高，涉及到電阻率、溶解氧、TOC、二氧化硅、微生物等各種指標(biāo)，要求比較嚴(yán)苛。 |
| 一、原水水質(zhì)及水量要求 |
| 1、要求系統(tǒng)進(jìn)水量16~20m3/h，才能確保產(chǎn)水量≥12m3/h。 |
| 2、原水含鹽量較穩(wěn)定，原水電導(dǎo)率設(shè)計按照≤800微西門子設(shè)計，變化系數(shù)K≤1.2，其它指標(biāo)參考生活飲用水標(biāo)準(zhǔn)。 |
| 二、系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)表 | ||
| 序號 | 項(xiàng)目 | CL-12t/h型高純水設(shè)備 |
| 1 | 設(shè)備額定功率 | 約52KW |
| 2 | 電源 | 380V AC 50HZ 三相五線 |
| 3 | 系統(tǒng)總回收率 | 65~75百分之 |
| 4 | 反滲透系統(tǒng)回收率 | 75百分之 |
| 反滲透出水水質(zhì) | ≤15μS/CM | |
| 5 | 二級反滲透系統(tǒng)回收率 | 80~85百分之 |
| 二級反滲透出水水質(zhì) | ≤4μS/CM | |
| 6 | EDI電除鹽主機(jī)回收率 | 90百分之 |
| EDI出水水質(zhì) | ≥16MΩ.cm | |
| 7 | 拋光混床回收率 | 100百分之 |
| 拋光混床出水 | ≥18.2MΩ.cm | |
| 8 | 進(jìn)水口徑 | DN80 PN1.0法蘭接口 |
| 9 | 出水口徑 | DN65 PN1.0法蘭接口 |
| 10 | 排污口徑 | DN100 PN1.0法蘭接口 |
| 三、主要工藝介紹 |
| 3.1、反滲透系統(tǒng) |
| 反滲透裝置在工藝中主要去除水中99百分之以上的陰、陽離子及有機(jī)物、熱源和細(xì)菌等。反滲透（RO）脫鹽系統(tǒng)由RO膜組件、高壓泵、RO清洗裝置等組成。 |
| 反滲透是一種借助選擇透過（半透過）性膜的功能，以壓力為推動力的膜分離技術(shù)膜元件，由反滲透膜導(dǎo)流布和管等制作而成，將多根RO元件裝入不銹鋼耐壓殼體內(nèi)，組成RO組件。本工藝脫鹽系統(tǒng)的關(guān)鍵，成熟的工藝設(shè)計和合理的操作，控制及管理，直接決定著系統(tǒng)的正常、穩(wěn)定出水。并關(guān)系到反滲透膜的使用壽命，經(jīng)反滲透處理后的出水，去除了絕大部分無機(jī)鹽和幾乎所有的有機(jī)物，微生物（細(xì)菌、熱源等）從而確保了本系統(tǒng)產(chǎn)品水的高質(zhì)量、高品質(zhì)。 |
| 完成預(yù)處理后的出水其出水由淤積密度指數(shù)SDI測試儀監(jiān)測，當(dāng)SDI值<4時，即可進(jìn)入RO系統(tǒng)，由高壓泵增壓后進(jìn)入反滲透系統(tǒng)（RO），反滲透出水（脫鹽純水）去中間水箱，另一部分由管道匯集后成濃水（主要含鹽份、機(jī)械雜質(zhì)、膠體、有機(jī)物等）隨小部分未透過水排入下水道。反滲透主體設(shè)備選用美國海德能公司生產(chǎn)的高脫鹽率低壓CPA3LD-8040芳香族聚酰胺膜元件。該膜元件屬節(jié)能型低壓膜，是世界上*的卷式RO膜元件，具有結(jié)構(gòu)緊湊，產(chǎn)水量特別大（單支RO膜產(chǎn)水量可達(dá)1.3t/h），脫鹽率高（單支膜試驗(yàn)數(shù)據(jù)>99.7百分之），操作壓力低，耐細(xì)菌侵蝕性好，適用PH范圍廣（PH為3~10）的優(yōu)點(diǎn)。 |
| 3.2、EDI電除鹽系統(tǒng) |
| EDI（Electrodeionization）是應(yīng)用電再生離子交換樹脂除鹽工藝來取代傳統(tǒng)的混合離子交換除鹽工藝的一種革命性水處理技術(shù)。EDI工藝采用一種離子選擇性膜和離子交換樹脂夾在直流電壓下的兩個電端之間，在兩端的直流電源電場從RO預(yù)處理過的水中去除離子。流入EDI模塊的RO水被分成了三股獨(dú)立的水流：產(chǎn)水水流、濃水水流和水流。EDI工藝從水中去除不想要的離子，依靠在淡水室的樹脂吸附離子，然后將它們遷移到濃水室中。離子交換反應(yīng)在模塊的淡水室中進(jìn)行，在那里陰離子交換樹脂釋放出氫氧根離子（OH-）而從溶解鹽中交換陰離子（如氯化物、Cl-）。同樣，陽離子交換樹脂釋放出氫離子(H+)而從溶解鹽中交換陽離子(Na+)。高質(zhì)量的模塊可以連續(xù)產(chǎn)生高達(dá)18MΩ.CM的高純水。通過這種技術(shù)，可以用較低的能源成本就能去除溶解鹽，并且不需要化學(xué)。 |
| EDI的特點(diǎn)： |
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