表面輪廓粗糙度測(cè)量?jī)x

2302A型表面輪廓粗糙度測(cè)量?jī)x主要技術(shù)指標(biāo)：

1、測(cè)量原理：垂直方向：觸針?lè)?，電感傳感器?/p>

　　　　　 　水平方向：光柵傳感器；

2、驅(qū)動(dòng)箱水平滑行范圍：100mm；

3、驅(qū)動(dòng)箱滑行速度：0.1,0.2,0.5,0.8,1mm/s；

4、傳感器返回形式：手動(dòng)，自動(dòng)；

5、基準(zhǔn)導(dǎo)軌的直線性：1μm/100mm；

6、驅(qū)動(dòng)箱升降：滾動(dòng)絲杠升降系統(tǒng)，機(jī)動(dòng)升降，自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)零位；

7、立柱垂直測(cè)量高度：260mm；

8、工作臺(tái)結(jié)構(gòu)：460mm×620mm大理石平臺(tái)；

9、形狀測(cè)量系統(tǒng)：

　1) 測(cè)量范圍：垂直20mm，水平100mm；

　2) 測(cè)量精度：垂直±0.2%，水平±0.004%；

　3) 垂直分辨力：0.06μm/4mm，0.3μm/20mm；

　4) 水平分辨力：1μm ；

　5)測(cè)量參數(shù)：垂直距離，水平距離，兩直線夾角，圓弧半徑，圓心-直線距離、圓心-圓心距離、直線度、圓度等形位公差參數(shù)；

　6) 圓形放大倍率：10000倍無(wú)級(jí)連續(xù)放大；

　7) 傳感器測(cè)桿長(zhǎng)：230mm；

　8) 測(cè)針長(zhǎng)度：22mm；

　9) 針尖角度：11°；

　10) 針尖半徑：25μm；

　11) 測(cè)力：0.02-0.06N；

　12) 傳感器滑行角度：上升角≤77°，下降角≤88°；

10、微觀輪廓測(cè)量系統(tǒng)

　1) 測(cè)量范圍：垂直400μm，水平100mm；

　2) 表面粗糙度示值誤差：≤±5%；

　3) 最小分辨力：垂直0.6nm，水平1μm；

　4) 取樣長(zhǎng)度：0.08，0.25，0.8，2.5，8mm；

　5) 評(píng)定長(zhǎng)度：N×k倍取樣長(zhǎng)度，N=1，2，3，4，5；N為行程長(zhǎng)度內(nèi)任意整數(shù)倍；

　6) 粗糙度測(cè)量參數(shù)：Ra，Rc，Rp，Rv，Rz，Rq，Rsm，Rt，Rsk，Rku，Rdq，Rmr；

　7) 波紋度測(cè)量參數(shù)：Wa，Wc，Wp，Wv，Wz，Wq，Wsm，Wt，Wsk，Wku，Wdq，Wmr；

　8) 原始輪廓測(cè)量參數(shù)：Pa，Pc，Pp，Pv，Pz，Pq，Psm，Pt，Psk，Pku，Pdq，Pmr；

　9) 微觀輪廓測(cè)量參數(shù)：│X2-X1│，│Y2-Y1│；

　10) 圖像分析功能：支承率曲線、幅度分布曲線、輪廓峰密度等。

　11) 輪廓圖形垂直放大倍率：100000倍無(wú)級(jí)連續(xù)放大；

　12) 輪廓圖形水平放大倍率：50000倍無(wú)級(jí)連續(xù)放大；

　13）傳感器測(cè)針：金剛石棱錐，錐角90°，針尖半徑2μm;