1200°C幵啟式真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)（CVD-TF)
CVD-TF12P50/60/80/100 CVD-TF12T50/60/80/100 CVD-TF12P50/60/80/100S CVD-TF12T50/60/80/100S
提供具有真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗(yàn)環(huán)境，應(yīng)用在半導(dǎo)俥、納米技艱、碳纖維等領(lǐng)域
■ 產(chǎn) 品 用 途 ：
此款CVD生長(zhǎng)系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膠、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容{ MLCC } 氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
■ 產(chǎn) 品 特 點(diǎn) ：
• 爐膛采用多晶莫來(lái)纖維真空吸附制成，溫場(chǎng)均勻節(jié)能50%以上
• 的空氣導(dǎo)流隔熱技術(shù)保證箱內(nèi)各部件的使用壽命及恒溫效果
• 啟動(dòng)電爐，排溫風(fēng)機(jī)同時(shí)自動(dòng)運(yùn)行，試驗(yàn)結(jié)束后，排溫風(fēng)機(jī)將繼續(xù)運(yùn)行，直至爐體溫度低于6013,排溫風(fēng)機(jī)自行停止，有效保護(hù)了爐體表面
• 爐門(mén)開(kāi)啟自動(dòng)斷電、超溫保護(hù)功能、漏電保護(hù)功能，以確保使用的安全性
參電路采用連續(xù)加熱輸出方式，雙回路供電，強(qiáng)弱電單獨(dú)走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性
• 加熱模塊采用直流信號(hào)調(diào)節(jié)輸出功率，避免了感應(yīng)電對(duì)控制倌號(hào)的干擾
• 操作按鍵選用低壓金屬按鈕，自帶狀態(tài)指示燈，操作安全直觀
• 上下?tīng)t體采用航空插頭連接方式，連接安全可靠方便
• 氣路總成采用貪品級(jí)316不銹鋼制成，具有耐蝕性，耐大氣腐蝕性和耐高濕強(qiáng)度好，無(wú)磁性
• 采用數(shù)顯流呈顯示儀.配合質(zhì)至流呈控制器，采集數(shù)據(jù)并控制流呈。具有控制精度高，重復(fù)性好，相應(yīng)速度快，穩(wěn)定可靠等特點(diǎn)。
(氣體質(zhì)至流呈控制系統(tǒng)}
• 自動(dòng)控制與手動(dòng)控制切換功能，自動(dòng)控制模式能通過(guò)設(shè)定值自動(dòng)開(kāi)啟/關(guān)閉真空泵，使容器內(nèi)保持在一定的真空壓力范圍內(nèi)。手動(dòng)控 制模式使用用戶通過(guò)真空泵開(kāi)啟/關(guān)閉按鈕直接操作真空泵。以滿足不同實(shí)驗(yàn)的甭要。 {中真空控制系統(tǒng)）
• 電磁閥緩啟動(dòng)技術(shù)，使電磁閥在真空泵開(kāi)啟10秒鐘后打開(kāi)，使?fàn)t管內(nèi)系統(tǒng)壓力保持準(zhǔn)確，也保證了廢氣不會(huì)返回到爐管系統(tǒng)影響實(shí)驗(yàn)效果（中真空控制系統(tǒng)）
實(shí)用新型證書(shū)號(hào)：ZL 2016 2 0955138.1
■S全 性 ：
< 過(guò)升報(bào)警、菜單鎖定、過(guò)升防止、復(fù)電延時(shí)。
參采用單向閥技術(shù)，使氣體流至在可控壓力范圍內(nèi)控制，保證安全。
•采用混氣罐裝罝，使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi)，確保不會(huì)泄露。
■技術(shù)參數(shù):
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