規(guī)格:
貨號 | QS-L2010Z/AFB | QS-L3017Z/AFB | QS-L4020Z/AFB | |
驅(qū)動方式 | 配備自動對焦,X,Y 軸 :手動,Z 軸 :電動 | |||
光學(xué)放大倍率 | 變焦 0.5X - 3.5X (8 級 ) | |||
綜合倍率 *1 | 26X-180X (8 級 ) | |||
測量范圍 (X×Y×Z) | 200×100×150mm | 300×170×150mm | 400×200×150mm | |
分辨力 | 0.1μm | |||
長度測量裝置 | 線性編碼器 | |||
影像測量方法 | 彩色 CCD 相機(jī) | |||
照明裝置 | 反射照明 , 透射照明、環(huán)形照明 | |||
測量精度 *2 | X 軸 , Y 軸 | (2.5+20L/1000)μm | ||
Z 軸 | (5.0+6L/1000)μm | |||
臺面承重 *3 | 10kg | 20kg | 15kg | |
尺寸 *4 (W×D×H) | 624×705×722mm | 682×852×837mm | 757×867×837mm | |
重量 | 約 66kg | 約 134kg | 約 140kg |
*1:使用22英寸寬的LCD顯示器時,上表中的總放大率是在默認(rèn)窗口狀態(tài)下顯示的參考值。
*2:適用于20℃,變焦倍率2.5X規(guī)格。
*3:不包括的載重、集中載重。
*4:本尺寸增加了X 軸及Z 軸行程、Y 軸一半行程尺寸。