規(guī)格:
型號 | LEGEX 574 | LEGEX 774 | LEGEX 776 | LEGEX 9106 | |
測量范圍 | X軸 | 500mm | 700mm | 700mm | 900mm |
Y軸 | 700mm | 700mm | 700mm | 1000mm | |
Z軸 | 450mm | 450mm | 600mm | 600mm | |
測量方法 | 超高精度線性編碼器 | ||||
測量速度 | 200mm/s | ||||
加速度 | 980mm/s2 | ||||
分辨力 | 0.00001mm | ||||
導(dǎo)向系統(tǒng) | 各軸均采用氣浮軸承 | ||||
工作臺 | 材料 | 鑄鐵* | |||
尺寸 | 550×750mm | 750×750mm | 750×750mm | 950×1050mm | |
緊固用螺釘孔 | M8x1.25mm (工件固定用) | ||||
測量高度 | 701mm | 701mm | 851mm | 851mm | |
負(fù)載 | 250kg | 500kg | 500kg | 800kg | |
重量 | 3500kg | 5000kg | 5100kg | 6500kg | |
空氣供給 | 氣壓 | 0.5MPa | |||
消耗量 | (正常情況下)120L/min(空氣源160L/min以上) |
*:也可選擇陶瓷涂層。
LEGEX系列主機精度:
使用測頭 | 容許指示誤差 |
ISO 10360-2:2009(JIS B 7440-2:2013) | |
MPP310Q | EO,MPE=(0.28+L/1000)um(溫度環(huán)境1) |
EO,MPE=(0.3+L/1000)um(溫度環(huán)境2) |
LEGEX系列設(shè)置溫度環(huán)境:
溫度環(huán)境1 | 溫度環(huán)境2 | |
溫度范圍 | 19-21℃ | 18-22℃ |
溫度變化 | 每小時以內(nèi)0.5℃ | |
溫度梯度 | 每米1.0℃以內(nèi) |