特點:
◆消除串擾并提供更準確地XY掃描
◆無需軟件后處理就可以得到精確的高度測量
◆樣品測量選項最多
◆全面的SPM模式
◆業(yè)內最多的可選功能和升級選項
規(guī)格參數(shù):
型號 | Park XE7 | |
掃描儀 | XY掃描儀 | 10um*10um(可選50um*50um或100um*100um) |
Z掃描儀 | 12um(可選25um) | |
形貌噪音 | <0.03nm(標準值0.02nm) | |
光學 | 物鏡 | 10X(20X可選) |
電子 | 高性能DSP | 600 MHz和MIPS 4800 |
ADC | 500 kHz采樣20個16位ADC的頻道 | |
DAC | 500 kHz沉降21個16位DAC的頻道 | |
樣品臺 | XY平臺行程 | 13mm X 13mm |
Z平臺行程 | 29.5mm | |
聚焦平臺行程 | 70mm | |
樣品尺寸 | 高達100mm X 100mm最多厚20mm |