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ArF(193nm)準分子激光器反射鏡

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具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱深圳市迪賽精密技術有限公司
品牌
型號ArF
所在地
廠商性質其他
更新時間2021/7/21 18:01:35
訪問次數(shù)221

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ArF(193nm)準分子激光器反射鏡

ArF(193nm)準分子激光器反射鏡產(chǎn)品信息

產(chǎn)品名稱：ArF(193nm)準分子激光器反射鏡
產(chǎn)品型號：ArF

Argon Fluoride laser optics for use at 193nm

Extra-Cavity Turning Mirrors
Normal or 45° incidence
High or partial reflectance

Specifications
Material:	Excimer grade Fused Silica
Surface Quality:	< 10 / 5
Radius of Curvature:	∞
Surface Flatness:	< λ / 10 @ 633 nm
Diameter Tolerance:	< + 0.00 / - 0.20 mm
Thickness Tolerance:	< ± 0.25 mm
Clear Aperture:	> 85% of diameter
Damage Threshold:	> 1.2 J /cm², 10 ns
Durability:	Meet adhesion and abrasion per MIL-C-675

Part No.	Diameter (inch)	Thickness (inch)	Runp
0° High Reflector
XHR-1206U-193-0	0.50	0.250	>97%
XHR-1906U-193-0	0.75	0.250	>97%
XHR-2506U-193-0	1.00	0.250	>97%
XHR-3809U-193-0	1.50	0.375	>97%
XHR-5009U-193-0	2.00	0.375	>97%
45° High Reflector
XHR-1206U-193-45	0.50	0.250	>96%
XHR-1906U-193-45	0.75	0.250	>96%
XHR-2506U-193-45	1.00	0.250	>96%
XHR-3809U-193-45	1.50	0.375	>96%
XHR-5009U-193-45	2.00	0.375	>96%
Partial Reflector
XP-1206U-*R-193	0.50	0.250	*
XP-1906U-*R-193	0.75	0.250	*
XP-2506U-*R-193	1.00	0.250	*
XP-3809U-*R-193	1.50	0.375	*
XP-5009U-*R-193	2.00	0.375	*