1、采用無刷伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。
2、機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、生銹,便于清洗。
3、排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。
4、透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋(丙烯酸材質(zhì)),可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光阻的溢
出有效隔絕有味的散發(fā)。
1、主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)
2、旋涂程序:100種程序,多步程序步驟,每個(gè)步驟可**到0.1秒
3、轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-8000rpm
4、旋涂加速度:0-8000rpm/sec(空載)
5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1%
6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<0.2rpm,重復(fù)性< 0.2rpm