愛德華應用市場：
半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光
功能和優(yōu)勢
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置。這可提供：
安靜的無振動運行。
牢靠且防腐蝕。
*的軸封技術，處理艙中不會出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到低。
軸封的設計經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是*技術設備的制造商所需要的特性和優(yōu)點
1. 可靠性：
可靠且穩(wěn)定的制程 - 即使是在高氣體負荷下也可提供有效的潤滑
2. 穩(wěn)定：
無制程污染 - 油和空氣反吸保護
3.性能：
** - 傳動軸桿上安裝有工業(yè)級滾柱軸承
4. 再保證：
安心 - 經(jīng)過多年嘗試、測試，已經(jīng)成為工業(yè)標準
可靠且穩(wěn)定 - 高真空性能
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